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当前位置：首页 > 技术成果转化 > 产业化应用 > 等离子体技术及装备

电子信息领域

时间：2021-06-17        来源：

（1）表面清洗活化PT系列产品

对材料表面进行清洗、活化等，实现大批量和高均匀度的快速高效处理，适用于半导体、LED、MEMS等领域的光刻胶去除，焊锡球黏合前的先进芯片封装和倒装芯片的清洗，塑料与金属的界面强力提高等。

等离子体清洗效果图

（2）纳米改性CPT系列产品

对材料表面进行刻蚀、沉积等，实现大批量和高均匀度的快速高效处理，适用于半导体、OLED、MEMS、毫米波芯片等领域的封装处理，以及特种塑料与金属的界面强力提高等。

等离子体纳米改性前后的耐腐蚀效果图

等离子体装备产品图

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